潔淨室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清淨室。潔淨室的主要功能為室內汙染控製，沒有潔淨室，汙染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裏麵，潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控製空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級別。潔淨程度和控製汙染的持續穩定性，是檢驗潔淨室質量的核心標準，該標準根據區域環境、淨化程度等因素，分為若幹等級，

　　潔淨室是指將一定空間範圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等汙染物排除，並將室內溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。